SCD-1500型半导体C-V特性分析仪

SCD-1500型半导体C-V特性分析仪

关键词：半导体，C-V特性，集成电路

SCD-1500型半导体C-V特性分析仪创新性地采用了双CPU架构、Linux底层系统、10.1英寸电容式触摸屏、中英文操作界面、内置使用说明及帮助等新一代技术，适用于生产线快速分选、自动化集成测试及满足实验室研发及分析。半导体C-V特性分析仪测试频率为10kHz-2MHz，VGS电压可达±40V，足以满足二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体件CV特性测试分析。

一、主要应用范围：

半导体元件/功率元件

二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析

半导体材料

晶圆、C-V特性分析

液晶材料

弹性常数分析

二、性能特点：

通道：2（可扩展至6）

高偏置：VGS：0 - ±40V，VDS：0–200V,1500V,3000V

双CPU架构，短积分时间0.56ms（1800次/秒）

10.1英寸电容式触摸屏，分辨率1280*800，Linux系统

点测、列表扫描、图形扫描(选件)三种测试方式

四寄生参数（Ciss、Coss、Crss、Rg）同屏显示

快速导通测试Cont

一体化设计：LCR+高压源+继电器矩阵

快速充电，缩短电容充电时间，实现快速测试

自动设置

10档分选

技术参数

1、 通道：2通道（可扩展6通道）

2、 显示：液晶显示，触摸屏

3、 测量参数：C、L、X、B、R、G、D、Q、ESR、Rp、θ、|Z|、|Y|

4、 测试频率：10kHz-2MHz

5、 精度：0.01%

6、 分辨率：10mHz  1.00000kHz-9.99999kHz

7、 电压范围：5mVrms-2Vrms

8、 精度：±（10%×设定值+2mV）

9、 VGS电压： ±40V，准确度：1%×设定电压+8Mv,分辨率;1mV(0V-±10V)

10、 VDS电压：0 - 200V

11、 精度：1%×设定电压+100mV

12、 1%×设定电压+100mV

13、 输出阻抗：100Ω，±2%@1kHz

14、 软件：C-V特性曲线分析，对数、线性两种方式实现曲线扫描